项目介绍：
1、项目背景：含氟混配气体主要应用于半导体和激光领域等。由于氟的化学特性， 含氟的混配气体在半导体领域主要是作为芯片刻蚀气体， 大功率激光器主要应用于切割、焊接、打标、材料表面处理、钻孔等行业。目前国内还不能完全生产符合要求的氟基混配气体，首先是国内没有氟气混配气所需原料纯F2的生产厂家，另外是生产技术不成熟，各组分的混配均衡无法达到，因此产品不能满足使用要求。2、项目创新点：本项目研发的F2混配系统的设计是为了产生特定的XeF、KrF和ArF准分子激光混合。通过多年的研发，成功研发出氟气混配技术，该技术采用高精度标准、临界流组件和超高真空保持氟的高可靠性。混配气充装后，采用一个可编程自动控制转筒装置来进行均衡混制，并通过先进的分析系统来分析充装后的钢瓶。所有混配气的比例、体积、重量都通过自主开发的计算软件来计算，确保混配气的技术指标满足指定要求。3、市场需求：电子特气起源于欧美，企业具有生产历史悠久、品种齐全、生产基地遍及世界各地的特点。产品规模上看，美国空气化工产品公司、法国液化空气集团、日本大阳日酸株式会社、美国普莱克斯公司、德国林德集团（2018年与美国普莱克斯公司合并）等海外巨头占据全球市场94%的份额。在中国的电子特气市场中，外资巨头也牢牢控制了85%的市场份额。产品种类上看，据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的电子特气，我国仅能生产约20%的品种，其余均依赖进口。进口电子气体价格昂贵、运输不便，使得电子特气国产替代需求强烈、空间广阔。4、经济效益：新增销售收入6000万元。
